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电子净化厂房空调系统的几种形式

发布时间:2019-08-11

空气调节是一种使房间或封闭空间的温度、相对湿度、洁净度和气流速度等参数均达到给定要求的技术。也就是说,在人们的生活、工作以及生产和科研的某一个特定空间内,其环境空气的温度、湿度、洁净度和气流速度等构成了该空间的空气环境。采取必要的技术手段来创造和保持该空间内要求的空气环境就是空气调节的任务。洁净空调是空调工程中的一种,它不仅对室内空气的温 度、湿度和风速有一定的要求,还对空气中的含尘粒数、细菌浓度等也都有较高的要求,为此,相应的技术称为“空气洁净技术”。根据需要对空气温度、湿度、洁净度、压力、噪声等参数都进行控制的密闭性较好的空间称为“洁净室”。为了使洁净室内保持所需要的温度、湿度、风速、压力和洁净度等参数,最常用的方法是向室内不断送人一定量经过处理的空气,以消除洁净室内各种热湿干扰及尘埃污染。为了给洁净室送人一定状态的空气,就需要一整套设备对空气进行处理,并不断送人室内,又不断从室内排出一部分来,这一整套设备就构成了洁净空调系统。

电子厂房洁净室的特点

电子行业洁净室空调除了具有较高的净化空气的能力外,还具有以下几点与舒适性空调明显不同的地方。

1、气流分布需要很均匀

为维持洁净室室内的高洁净度,必须带走室内所产生的微尘粒子,因此对气流组织有严格的要求。对于1-1000级的洁净室,目前采用上顶棚送风、下地板回风的垂直单向流气流组织形式;对于10000-100000级的洁净室,常采用上顶棚送风、下侧回风日回风的非单向流形式。

2、恒温恒湿控制精度高

由于电子产品的制造工艺对温湿度变化极为敏感,所以必须将洁净室里的空气参数严格控制在要求的范围内。目前,洁净空调系统普遍采用控制灵活、性能可靠的DDC自控系统,当室内空气参数达不到设计要求时,可通过DDC控制系统来自动调节各个阀门开大或关小,这样就不至于使房间 内温湿度波动太大,影响产品质量和成品率。

3新风量大,换气次数高

在电子产品制造过程中需使用有毒的化学品,将产生有毒的废气,必须排出室外。为保持洁净室内正压和满足卫生条件,必须补充大量新风。为了保持高洁净度,洁净室应有较高的换气次数,同时室内的空气流速也不能太大,一般在0.4 m/s以下。

4冷负荷大且湿负荷小,热湿比值接近+∞

电子行业的洁净室一般都置于建筑物的中部,虽然通过围护结构的热量较少,但洁净室内工艺设备的发热量相当大,即全年需要排出室内余热量。

1、MAU+FFU+DC的净化空调送风方案

新风机组MAU将新风处理到洁净室热湿比线与相对湿度95%线的交点以下,不仅将本身的湿负荷去掉,还负担洁净室内产生的湿负荷。而MAj热处理不足部分的干冷负荷将由设在洁净室下夹层或吊顶上的干盘管来补充。由于干盘管设在FFU循环空气通过的吊顶上或夹道内,因此,干盘管所弥补的干冷负荷被循环空气带到洁净室内。此方案中,洁净室的相对湿度由MAU来保证,洁净室的温度由DC来保证,洁净室的洁净度由FFU来保证。

2、AHU+FFU的净化空调送风方案

此方案中,净化空调系统的热、湿负荷(洁净室内产生的热、湿负荷及新风的热、湿负荷)全部由设在空调机房内的空调机组AHU来负担。AHU的送风量是消除本系统余热、余湿的空调送风量(其中包括全部新风和部分回风,但远远小于保证洁净室洁净度等级的净化送风量),它应能确保洁净室内的温度和相对湿度恒定。而该洁净室的洁净度由设在洁净室吊顶上的FFU来保证。此方案中应该注意的是,FFU运行过程中所产生的热量也应由AHU来承担

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